Osaka Vacuum 大阪真空 TG1303 渦輪分子泵

Osaka Vacuum 大阪真空 TG1303 渦輪分子泵Osaka Vacuum 大阪真空 TG1303 渦輪分子泵

核心參數(shù)

• 軸承形式：油循環(huán)潤滑滾珠軸承，配備儲(chǔ)油腔體，支持潤滑油補(bǔ)給與更換

• 氮?dú)獬樗俜秶?40?5500L/s，覆蓋中大抽速到大抽速多種工況

• 極限真空：＜1×10??Pa，CF 法蘭配置可獲得更高真空等級(jí)

• 衍生細(xì)分版本

1. 標(biāo)準(zhǔn)通用型：適配常規(guī)惰性氣體工藝

2. 化學(xué)對(duì)策型（帶 3 后綴）：腔體做耐腐蝕處理，適配微量腐蝕工藝氣體

• 冷卻方式：標(biāo)配水冷散熱，適配長時(shí)間高負(fù)載連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)

• 通訊接口：串行通訊，支持運(yùn)行狀態(tài)讀取、故障報(bào)警，對(duì)接設(shè)備控制系統(tǒng)

• 安全標(biāo)準(zhǔn)：CE、NRTL、SEMI?S2

• 主流型號(hào)：TG203、TG3210、TG3213、TG5000、TG5003、TG5500、TG5503

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 循環(huán)油潤滑滾珠軸承結(jié)構(gòu)，可定期補(bǔ)充、更換潤滑油，適配產(chǎn)線 24 小時(shí)不間斷重載運(yùn)轉(zhuǎn)場景。

2. 機(jī)身結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，抗振動(dòng)、抗大氣沖擊性能優(yōu)異，能夠承受腔體意外沖入大氣，降低破真空帶來的泵體損傷風(fēng)險(xiǎn)，工藝容錯(cuò)能力良好。

3. 同系列設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型與化學(xué)對(duì)策機(jī)型，化學(xué)對(duì)策機(jī)型腔體做特殊防護(hù)處理，可應(yīng)對(duì)部分腐蝕性工藝氣體，拓寬工藝適配范圍。

4. 水冷散熱結(jié)構(gòu)，散熱表現(xiàn)穩(wěn)定，大流量工藝氣體工況下溫度控制平穩(wěn)；整機(jī)拆裝檢修便捷。

5. 配套外置控制器，可監(jiān)控轉(zhuǎn)速、油溫、油位、振動(dòng)等多項(xiàng)運(yùn)行參數(shù)，方便設(shè)備集成與產(chǎn)線運(yùn)維管理。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體、FPD 平板制造蝕刻、薄膜沉積工藝；大負(fù)載真空鍍膜設(shè)備；加速器、輻射科研裝置；大型熱處理真空系統(tǒng)；工業(yè)理化真空實(shí)驗(yàn)腔體。

選型提示：需要免補(bǔ)脂長效脂潤滑方案，選用 TG?F 系列；想要無油無磨損結(jié)構(gòu)，選用 TGkine 磁懸浮系列；重度腐蝕工藝，需要結(jié)合介質(zhì)條件評(píng)估選型。

配套配件

前級(jí)真空泵、真空法蘭配件、專用控制器、通訊線纜、專用潤滑油組件