Osaka Vacuum 大阪真空 TG60F 渦輪分子泵

Osaka Vacuum 大阪真空 TG60F 渦輪分子泵Osaka Vacuum 大阪真空 TG60F 渦輪分子泵

核心參數(shù)

• 軸承形式：油脂潤(rùn)滑滾珠軸承

• 氮?dú)獬樗俜秶?0?2400L/s，覆蓋從小型到大流量多種工況

• 極限真空：＜1×10??Pa

• 安裝特性：全姿態(tài)安裝，倒立、側(cè)裝均可穩(wěn)定運(yùn)行

• 結(jié)構(gòu)版本：控制器一體型、控制器分離型可選

• 特殊衍生型號(hào)：TG?FS 耐磁場(chǎng)版本，適配強(qiáng)磁場(chǎng)工況，支持長(zhǎng)距離線纜敷設(shè)

• 通訊：串行通訊接口，可對(duì)接設(shè)備控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)狀態(tài)讀取、故障報(bào)警

• 安全標(biāo)準(zhǔn)：CE、NRTL、SEMI?S2

• 主流完整型號(hào)清單：TG50F、TG60F、TG220F、TG350F、TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 油脂潤(rùn)滑滾珠軸承結(jié)構(gòu)，出廠預(yù)填充潤(rùn)滑脂，運(yùn)行過(guò)程無(wú)需補(bǔ)脂，大修維護(hù)周期 2?3 萬(wàn)小時(shí)，日常維護(hù)工作量少，整機(jī)采購(gòu)及運(yùn)維成本更優(yōu)。

2. 機(jī)身緊湊堅(jiān)固，抗振動(dòng)、抗沖擊性能優(yōu)異，支持任意角度安裝，適配設(shè)備運(yùn)動(dòng)部件、移動(dòng)型設(shè)備，整機(jī)布局設(shè)計(jì)自由度高。

3. 內(nèi)置大氣沖擊耐受結(jié)構(gòu)，可承受腔體意外沖入大氣，降低破真空帶來(lái)的泵體損傷；支持快速啟動(dòng)、快速破真空停機(jī)，適配產(chǎn)線高頻次工藝節(jié)拍。

4. 同系列提供 TG?FS 耐磁場(chǎng)機(jī)型，可在強(qiáng)磁場(chǎng)環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行，滿足加速器等特殊設(shè)備需求；提供一體、分離兩種控制器方案，適配不同機(jī)箱布線條件。

5. 多規(guī)格進(jìn)氣法蘭可選，兼容 VG、ISO、CF 主流真空接口；轉(zhuǎn)子壓縮比高，可以穩(wěn)定獲取超高真空環(huán)境。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體、FPD 平板顯示零部件制程；光學(xué)鍍膜、電子元器件熱處理設(shè)備；電子槍、離子源排氣；分析測(cè)試儀器；加速器、輻射裝置；各類科研實(shí)驗(yàn)真空腔體。

選型提示：該系列不適合強(qiáng)腐蝕工藝氣體，腐蝕工況選用 TG?M 系列；追求無(wú)油磁懸浮結(jié)構(gòu)，可選擇 TGkine 系列。

配套配件

前級(jí)真空泵、真空法蘭管件、對(duì)應(yīng)型號(hào)控制器、通訊線纜