Osaka Vacuum 大阪真空 TG1400F 渦輪分子泵

Osaka Vacuum 大阪真空 TG1400F 渦輪分子泵Osaka Vacuum 大阪真空 TG1400F 渦輪分子泵

核心參數

• 軸承形式：油脂潤滑滾珠軸承

• 氮氣抽速范圍：50?2400L/s，覆蓋從小型到大流量多種工況

• 極限真空：＜1×10??Pa

• 安裝特性：全姿態安裝，倒立、側裝均可穩定運行

• 結構版本：控制器一體型、控制器分離型可選

• 特殊衍生型號：TG?FS 耐磁場版本，適配強磁場工況，支持長距離線纜敷設

• 通訊：串行通訊接口，可對接設備控制系統，實現狀態讀取、故障報警

• 安全標準：CE、NRTL、SEMI?S2

• 主流完整型號清單：TG50F、TG60F、TG220F、TG350F、TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

產品特點

1. 油脂潤滑滾珠軸承結構，出廠預填充潤滑脂，運行過程無需補脂，大修維護周期 2?3 萬小時，日常維護工作量少，整機采購及運維成本更優。

2. 機身緊湊堅固，抗振動、抗沖擊性能優異，支持任意角度安裝，適配設備運動部件、移動型設備，整機布局設計自由度高。

3. 內置大氣沖擊耐受結構，可承受腔體意外沖入大氣，降低破真空帶來的泵體損傷；支持快速啟動、快速破真空停機，適配產線高頻次工藝節拍。

4. 同系列提供 TG?FS 耐磁場機型，可在強磁場環境穩定運行，滿足加速器等特殊設備需求；提供一體、分離兩種控制器方案，適配不同機箱布線條件。

5. 多規格進氣法蘭可選，兼容 VG、ISO、CF 主流真空接口；轉子壓縮比高，可以穩定獲取超高真空環境。

典型應用場景

半導體、FPD 平板顯示零部件制程；光學鍍膜、電子元器件熱處理設備；電子槍、離子源排氣；分析測試儀器；加速器、輻射裝置；各類科研實驗真空腔體。

選型提示：該系列不適合強腐蝕工藝氣體，腐蝕工況選用 TG?M 系列；追求無油磁懸浮結構，可選擇 TGkine 系列。

配套配件

前級真空泵、真空法蘭管件、對應型號控制器、通訊線纜