Osaka Vacuum 大阪真空 TG220F 渦輪分子泵

Osaka Vacuum 大阪真空 TG220F 渦輪分子泵Osaka Vacuum 大阪真空 TG220F 渦輪分子泵

核心參數(shù)

• 產(chǎn)品系列：TGkine®?B，分為 M?B 標(biāo)準(zhǔn)型、MI?B 反應(yīng)生成物對策型

• 軸承方式：五軸主動控制磁懸浮軸承，無機(jī)械接觸、無油設(shè)計(jì)

• 氮?dú)獬樗伲?700?4200L/s，適配大流量高負(fù)載工況

• 極限真空：烘烤后＜2×10??Pa

• 防護(hù)等級：IP54

• 通訊：支持 EtherCAT 工業(yè)通訊，適配自動化設(shè)備系統(tǒng)

• 安裝：支持任意角度安裝

• 運(yùn)轉(zhuǎn)模式：具備低速運(yùn)轉(zhuǎn)模式，可依照工藝進(jìn)行設(shè)置

• 細(xì)分型號

1. M?B 標(biāo)準(zhǔn)型：TGkine1700M?B、2200M?B、3300M?B、3400M?B、3800M?B、4200M?B

2. MI?B 防反應(yīng)生成物型：TGkine2200MI?B、3300MI?B、3400MI?B、3800MI?B，搭載內(nèi)部自加熱隔熱結(jié)構(gòu)，減少工藝副產(chǎn)物堆積固化

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 泵體與電源控制器一體化設(shè)計(jì)，無需額外外置控制器機(jī)架與長距離動力線纜，節(jié)約安裝空間，簡化布線，降低配套成本。

2. 五軸磁懸浮非接觸轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，無潤滑油，不存在機(jī)械磨損，振動與噪音低，輸出潔凈無油真空環(huán)境，長時(shí)間運(yùn)行穩(wěn)定，維護(hù)周期長。

3. 轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)優(yōu)化，抽速大、氣體處理能力強(qiáng)，可耐受氬氣等工藝氣體，適配半導(dǎo)體重負(fù)載工藝；MI?B 機(jī)型自帶內(nèi)部加熱隔熱機(jī)構(gòu)，減少蝕刻工藝產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物附著，延長泵的使用壽命。

4. IP54 防護(hù)，現(xiàn)場環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)；可對接上位控制系統(tǒng)，能夠設(shè)置低速運(yùn)行，適配多種制程工況。

5. 可任意角度安裝，設(shè)備布局靈活；整機(jī)輕量化，拆裝檢修方便。

典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體、FPD 平板顯示行業(yè)，蝕刻、濺射、薄膜沉積工藝設(shè)備

• 太陽能電池、光學(xué)鏡片鍍膜、薄膜加工設(shè)備

• 加速器、空間環(huán)境模擬設(shè)備、理化分析類科研裝置

選型提示：普通工藝選用 M?B 標(biāo)準(zhǔn)系列；蝕刻等容易產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物工況優(yōu)先選用 MI?B 版本；需要控制器與泵體分離選型參考 TGkine?R 系列。

配套配件

前級真空泵、真空法蘭配件、通訊線纜、MI?B 專用溫控組件