什么是渦輪分子泵？

來源：玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司 2026年07月21日 09:19

有翼的真空泵

渦輪分子泵是由具有渦輪葉片的轉(zhuǎn)子（動(dòng)翼）和定子（靜翼）組成的。近年來，性能得到改善并且被廣泛使用

使用渦輪分子泵技術(shù)！
半導(dǎo)體制造設(shè)備，蒸發(fā)設(shè)備，濺射設(shè)備，分析設(shè)備，蝕刻設(shè)備，加速器，F(xiàn)PD制造設(shè)備等

渦輪分子泵的特點(diǎn)

可以實(shí)現(xiàn)在大氣中不能實(shí)現(xiàn)的高速旋轉(zhuǎn)

渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)翼和保持靜止的靜翼組成。
動(dòng)翼以每秒數(shù)萬次的速度旋轉(zhuǎn)，由于動(dòng)翼上的負(fù)荷（阻力），在大氣中會(huì)破裂。
因此，渦輪分子泵需要在一定程度的真空中使用，需要干泵或羅茨泵等前級(jí)泵。

優(yōu)點(diǎn)　在分子流領(lǐng)域中，排氣速度是恒定的并且可以連續(xù)排氣。此外，不需要再生工作等維護(hù)，并且可以進(jìn)行易燃和腐蝕性氣體的排氣。

缺點(diǎn)　高速旋轉(zhuǎn)需要注意安全

渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)

高速旋轉(zhuǎn)翼吹走了分子

渦輪分子泵具有交替的動(dòng)翼和靜翼。進(jìn)入進(jìn)氣口的氣體分子由高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)翼提供動(dòng)量，并被送到下段。通過多個(gè)壓縮段，氣體分子被壓縮并被送到排氣口。

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