Name: 現貨EBARA 荏原 ESA500W 干式真空泵
Brand: 為EBARA/荏原
Price: 25890 CNY
Availability: InStock

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產品簡介

產地類別	進口	產品類型	無油泵
價格區間	2萬-3萬	儀器種類	真空泵
應用領域	化工,能源,電子/電池,半導體,機械設備

現貨EBARA 荏原 ESA500W 干式真空泵屬于 ESA 系列超大抽速水冷干式真空泵，多級羅茨無油干式結構，面向大型真空腔體高速抽空，兼顧氫氣、氦氣輕氣體抽取性能。整機大流量輸出，適配面板、半導體、新能源大型 Load?Lock 量產腔體，支持 7×24 小時不間斷量產運行。配備多路氮氣反吹，抑制泵腔粉末副產物堆積，降低維護停機頻次，適配產線 Sub?fab 機房布置。

詳細介紹

現貨EBARA 荏原 ESA500W 干式真空泵現貨EBARA 荏原 ESA500W 干式真空泵

產品概述

ESA 系列為水冷多級羅茨無油干式真空泵，主打輕氣體抽取與大腔體快速抽空，適配潔凈至輕度腐蝕工藝工況。整機無油設計，杜絕油污返流污染制程，運行穩定、振動噪音低，支持 7×24 小時連續量產作業。系列型號齊全，包含標準型、鎳合金耐蝕型、MOCVD 外延專用機型，抽速覆蓋廣泛，適配半導體、光電、新能源多行業主流真空工藝，設備綜合使用成本低、維護便捷。

核心特點

無油潔凈干式結構全程無油壓縮設計，泵腔無潤滑油污染，保障制程高潔凈度；標配可控氮氣反吹系統，有效抑制粉塵、副產物堆積，大幅延長保養周期，減少停機維護頻次。
輕氣體抽吸性能優異針對氫氣、氦氣等輕質氣體優化設計，抽氣效率高、極限真空穩定，專屬外延機型是 MOCVD 工藝的主流配套設備，適配各類精密外延制程。
多版本防腐適配配備標準腔體與鎳合金耐蝕腔體版本，可應對常規潔凈工藝與微量腐蝕性氣體工況；可選有機溶劑適配組件，適配鍍膜、揮發類介質工藝。
智能節能運行搭載自適應轉速調控系統，可根據工藝氣體負載自動調節運轉轉速，高負載穩運行、低負載怠速降能耗，長期量產工況下節能明顯。
水冷恒溫穩定運行一體式水冷散熱結構，散熱均勻高效，長時間連續作業不易升溫過熱，熱穩定性強，適配產線高頻次、不間斷抽真空作業。
低噪低振、集成性強機身結構緊湊，占地面積小，產線布局靈活；運行振動小、噪音低，適配精密無塵車間環境。自帶工況監測、故障記憶、連鎖保護功能，支持外接通訊聯控，適配自動化產線配套。

通用技術參數

泵體類型：多級羅茨無油干式真空泵
冷卻方式：水冷式
極限壓力：5Pa
工作電壓：三相寬電壓適配 200V?460V
機型分類：標準 W 型、鎳合金耐蝕 WN 型、外延專用 D 型
抽速范圍：1400?80000L/min
適配工況：潔凈、輕度腐蝕、輕氣體、大腔體快速抽空工藝

工作原理

依靠多級羅茨轉子非接觸式逐級壓縮氣體，全程干式無油壓縮；水冷系統持續帶走泵體運行熱量，保障恒溫作業；氮氣反吹持續吹掃泵腔內部，避免粉末、雜質沉積；智能控制系統實時監測溫度、負載、運行狀態，自動匹配轉速，異常工況自動報警保護，可對接產線控制系統實現聯動運行。

典型應用場景

半導體行業：MOCVD 外延生長、Load?Lock 大腔體抽空、潔凈 CVD 制程、精密真空傳輸腔體。光電行業：LED 芯片外延、液晶面板濺射鍍膜、真空干燥、精密光學器件真空加工。新能源行業：光伏電池鍍膜、擴散工藝、新能源材料真空制備。通用工業：大容積腔體快速抽真空、輕氣體處理、潔凈無油污要求的各類量產真空工藝。

選配配件

粉塵捕集裝置、冷凝回收組件、有機溶劑排氣套件、氮氣吹掃組件、通訊聯控模塊、外置水冷機組、過濾凈化裝置

規格

類型

單元

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W(-D)

ESA70WN(-D)

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

ESA200W

ESA300W

ESA500W

冷卻水

流速

升/分鐘

3.5~8

7~16

3.5~8

6~9

溫度

℃

最多 30

電源

額定電壓 50/60 Hz

單相 200-240V
三相 200-240V

允許的電壓波動

±10%

功率容量

千伏安

6.4

12.8

10.3

12.6

23.7

41.3

泵送速度

升/分鐘

1400（50Hz）
1700（60Hz）

2,500 (50Hz)
3,000 (60Hz)

5,000 (50Hz)
6,000 (60Hz)

7,000 (50Hz)
8,400 (60Hz)

8,400 (50Hz/60Hz)

10,000 (50Hz/60Hz)

20,000 (50Hz/60Hz)

28,000 (50Hz)
30,000 (60Hz)

47,000 (50Hz)
50,000 (60Hz)

極限壓力

賓夕法尼亞州

400 (50Hz)
270 (60Hz)

5.3 (50Hz)
4.0 (60Hz)

0.27 (50Hz)
0.13 (60Hz)

0.4 (50Hz)
0.27 (60Hz)

0.13

0.27

0.13

0.27

0.53

1.0

聯系

進口

西北40

NW50

ISO80

NW50

NW80

ISO100

ISO160

出路

西北40

NW50

極限壓力下的近似功率

千瓦

2.9 (50Hz)
3.2 (60Hz)

2.6 (50Hz)
2.9 (60Hz)

5.2 (50Hz)
5.8 (60Hz)

3.6 (50Hz)
4.0 (60Hz)

4.2

4.9

3.2 (50Hz)
3.4 (60Hz)

6.6 (50Hz)
7.3 (60Hz)

5.1 (50Hz)
6.7 (60Hz)

流速

帕·米3/秒

14~17 (4.6)

17~20 (3.8)

34~40

24~27 (4.7)

54~57

54~45

17~20 (3.8)

7.5~10.5

8.5~11

電源相位/電壓/頻率

200V 型號

三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz

400V 型號

三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz

三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz

三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz

460V 型號

三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz

三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz

重量

公斤

240

480

380

400

410

700

750

參考價	￥ 25890
訂貨量	≥1件

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