現(xiàn)貨EBARA 荏原 ESA100W 干式真空泵

產(chǎn)品概述

核心特點

1. 無油潔凈干式結(jié)構(gòu)全程無油壓縮設(shè)計，泵腔無潤滑油污染，保障制程高潔凈度；標(biāo)配可控氮氣反吹系統(tǒng)，有效抑制粉塵、副產(chǎn)物堆積，大幅延長保養(yǎng)周期，減少停機(jī)維護(hù)頻次。
2. 輕氣體抽吸性能優(yōu)異針對氫氣、氦氣等輕質(zhì)氣體優(yōu)化設(shè)計，抽氣效率高、極限真空穩(wěn)定，專屬外延機(jī)型是 MOCVD 工藝的主流配套設(shè)備，適配各類精密外延制程。
3. 多版本防腐適配配備標(biāo)準(zhǔn)腔體與鎳合金耐蝕腔體版本，可應(yīng)對常規(guī)潔凈工藝與微量腐蝕性氣體工況；可選有機(jī)溶劑適配組件，適配鍍膜、揮發(fā)類介質(zhì)工藝。
4. 智能節(jié)能運行搭載自適應(yīng)轉(zhuǎn)速調(diào)控系統(tǒng)，可根據(jù)工藝氣體負(fù)載自動調(diào)節(jié)運轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速，高負(fù)載穩(wěn)運行、低負(fù)載怠速降能耗，長期量產(chǎn)工況下節(jié)能明顯。
5. 水冷恒溫穩(wěn)定運行一體式水冷散熱結(jié)構(gòu)，散熱均勻高效，長時間連續(xù)作業(yè)不易升溫過熱，熱穩(wěn)定性強(qiáng)，適配產(chǎn)線高頻次、不間斷抽真空作業(yè)。
6. 低噪低振、集成性強(qiáng)機(jī)身結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，產(chǎn)線布局靈活；運行振動小、噪音低，適配精密無塵車間環(huán)境。自帶工況監(jiān)測、故障記憶、連鎖保護(hù)功能，支持外接通訊聯(lián)控，適配自動化產(chǎn)線配套。

通用技術(shù)參數(shù)

• 泵體類型：多級羅茨無油干式真空泵

• 冷卻方式：水冷式

• 極限壓力：5Pa

• 工作電壓：三相寬電壓適配 200V?460V

• 機(jī)型分類：標(biāo)準(zhǔn) W 型、鎳合金耐蝕 WN 型、外延專用 D 型

• 抽速范圍：1400?80000L/min

• 適配工況：潔凈、輕度腐蝕、輕氣體、大腔體快速抽空工藝

工作原理

典型應(yīng)用場景

選配配件