Name: EBARA 荏原 EV?SA50 風(fēng)冷羅茨干式真空泵
Brand: 為EBARA/荏原
Price: 25890 CNY
Availability: InStock

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	產(chǎn)品類型	無油泵
價格區(qū)間	2萬-3萬	儀器種類	真空泵
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子/電池,半導(dǎo)體,機(jī)械設(shè)備

EBARA 荏原 EV?SA50 風(fēng)冷羅茨干式真空泵
型號：EV?SA50
泵體結(jié)構(gòu)：多級羅茨無油干式結(jié)構(gòu)
版本：標(biāo)準(zhǔn)款
冷卻方式：風(fēng)冷，無需冷卻水
抽氣速率：5000 L/min
極限真空：0.5?3.0 Pa（氣鎮(zhèn)關(guān)閉）；1.0?5.0 Pa（氣鎮(zhèn)開啟）
供電：單相 / 三相 200?240V，50/60Hz，電壓允許波動 ±10%
通訊接口：RS485，支持報警歷史記錄、溫度監(jiān)控、遠(yuǎn)程狀態(tài)讀

詳細(xì)介紹

EBARA 荏原 EV?SA50 風(fēng)冷羅茨干式真空泵EBARA 荏原 EV?SA50 風(fēng)冷羅茨干式真空泵

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

型號系列：EV?SA（標(biāo)準(zhǔn)款 / P 氮?dú)獯祾呖?/ N 鎳合金防腐吹掃款）泵體結(jié)構(gòu)：多級羅茨無油干式結(jié)構(gòu)冷卻方式：風(fēng)冷，無需冷卻水抽氣速率：1670?5000 L/min極限真空：0.5?3.0 Pa（氣鎮(zhèn)關(guān)閉）；1.0?5.0 Pa（氣鎮(zhèn)開啟）供電：單相 / 三相 200?240V，50/60Hz，電壓允許波動 ±10%通訊接口：RS485，支持報警歷史記錄、溫度監(jiān)控、遠(yuǎn)程狀態(tài)讀取認(rèn)證：SEMI?S2、CE、NRTL

版本后綴說明?標(biāo)準(zhǔn)款：潔凈工藝使用?P 款：內(nèi)置氮?dú)獯祾撸m配微量粉塵、水汽工況?N 款：鎳合金腔體 + 氮?dú)獯祾撸m配輕度鹵素腐蝕氣體

產(chǎn)品概述

EV?SA 系列是 EBARA 荏原風(fēng)冷型緊湊型干式真空泵，區(qū)別于 EV?S 水冷系列，整機(jī)不需要外接冷卻水，僅接入電源即可運(yùn)行，安裝位置不受水冷管路限制。采用非接觸多級羅茨結(jié)構(gòu)，低能耗、低噪音，具備怠速休眠節(jié)能模式，水汽抽除能力優(yōu)異。主要面向半導(dǎo)體 Load?lock、分析儀器、實(shí)驗(yàn)室鍍膜、小型 PVD 等潔凈輕負(fù)載真空場景，適合沒有冷卻水供給的設(shè)備端集成、實(shí)驗(yàn)室、檢測設(shè)備配套使用。

工作原理

多組非接觸羅茨轉(zhuǎn)子逐級壓縮氣體，整機(jī)內(nèi)部無油。風(fēng)冷散熱取代水冷結(jié)構(gòu)，依靠風(fēng)扇完成整機(jī)散熱；直流變頻電機(jī)跟隨工藝負(fù)載動態(tài)調(diào)速，工作階段滿負(fù)荷運(yùn)行，待機(jī)空載自動切換怠速休眠降低功耗。P/N 版本搭載內(nèi)置氮?dú)獯祾咄罚♂屗⒎蹓m、輕度腐蝕性介質(zhì)，保護(hù)腔體與轉(zhuǎn)子。內(nèi)置多組傳感器，故障預(yù)警、報警信號可對接工廠 FAB 自動化控制系統(tǒng)。

核心特點(diǎn)

風(fēng)冷免水冷，無需冷卻水管道，現(xiàn)場布線簡單，安裝自由度高，適配實(shí)驗(yàn)室、機(jī)臺直接集成場景。
非接觸羅茨轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，無摩擦磨損，振動低、運(yùn)行噪音＜58dB (A)，可連續(xù)長時間運(yùn)行。
變頻怠速休眠節(jié)能，待機(jī)自動降功率，相比傳統(tǒng)干泵能耗更低，運(yùn)行成本低。
同級別風(fēng)冷干泵中水汽抽除性能優(yōu)異，可處理一定量水汽工況。
多版本可選：標(biāo)準(zhǔn)款用于潔凈工藝；P 款氮?dú)獯祾邞?yīng)對微量粉塵水汽；N 款鎳合金腔體耐受輕度鹵素腐蝕。
50Hz/60Hz 電網(wǎng)頻率下抽氣性能保持一致，適配*各地產(chǎn)線。
RS485 通訊接口，完整報警歷史存儲，支持遠(yuǎn)程參數(shù)讀取、設(shè)備集中管理。
多傳感器故障預(yù)警，降低非計劃停機(jī)風(fēng)險，整機(jī)滿足 SEMI?S2 半導(dǎo)體設(shè)備安全標(biāo)準(zhǔn)。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體：Load?lock 負(fù)載鎖腔體、計量檢測設(shè)備、小型 PVD 濺射；分析儀器：質(zhì)譜儀、電子顯微鏡各類精密分析設(shè)備前級泵；科研實(shí)驗(yàn)室：真空鍍膜、真空干燥、各類科研真空腔體；光電行業(yè)：LED、小型光伏薄膜沉積潔凈制程；無冷卻水條件下的各類潔凈、微量粉塵、輕度腐蝕輕負(fù)荷真空工藝。

EV?SA 系列完整型號清單

EV?SA20、EV?SA20P、EV?SA20NEV?SA30、EV?SA30P、EV?SA30NEV?SA50、EV?SA50P、EV?SA50N

配套推薦

可搭配尾氣處理裝置；真空檢測配置真空計模塊；支持對接工廠 FAB 遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)

規(guī)格


類型		單元	EV-SA20	EV-SA30	EV-SA50
電源	額定電壓 50/60 Hz			單相 200-240V 三相 200-240V	單相 200-240V 三相 200-240V
	允許的電壓波動			±10%	±10%
	功率容量	千伏安	3	3	3
泵送速度		升/分鐘	1670	3300	5000
極限壓力		賓夕法尼亞州	3.0/ 5.0*	2.0/ 3.0*	0.5/1.0*
聯(lián)系	進(jìn)口		西北40	西北40	NW50
聯(lián)系	出路		西北40	西北40	西北40
極限壓力下的近似功率		千瓦	0.45	0.45	0.5
冷卻系統(tǒng)			風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
重量		公斤	65	90	150

*規(guī)格參數(shù)僅供參考，可能因型號而異。
*詳情請聯(lián)系我們。

參考價	￥ 25890
訂貨量	≥1件

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