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EBARA 荏原 EV?S20P 羅茨干式真空泵

參考價	￥ 25890
訂貨量	≥1件

具體成交價以合同協(xié)議為準

￥25890

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品牌 EBARA/荏原
型號
廠商性質 經銷商
所在地 深圳市

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更新時間：2026-08-04 18:06:11瀏覽次數(shù)：26評價

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產地類別	進口	產品類型	無油泵
價格區(qū)間	2萬-3萬	儀器種類	真空泵
應用領域	化工,能源,電子/電池,半導體,機械設備

EBARA 荏原 EV?S20P 羅茨干式真空泵型號：EV?S20P
泵體結構：多級羅茨無油干式結構
版本：P 款，內置氮氣吹掃
抽氣速率：1670 L/min
極限真空：≤5.0 Pa
冷卻方式：水冷，冷卻水流量 1.5?3.0L/min
吹掃配置：內置氮氣吹掃通路，吹掃流量 17?20L/min
供電：三相 AC200?460V 50/60Hz
通訊：RS485 接口，溫度監(jiān)控、報警歷史記錄、

EBARA 荏原 EV?S20P 羅茨干式真空泵EBARA 荏原 EV?S20P 羅茨干式真空泵
關鍵技術參數(shù)

型號系列：EV?S（標準基礎款 / P 氮氣吹掃款 / N 鎳合金耐腐蝕吹掃款）泵體結構：多級羅茨無油干式結構抽氣速率：1670?20000 L/min極限真空：≤3.0 Pa冷卻方式：水冷供電：三相 AC200?460V，50/60Hz，50Hz/60Hz 工況性能一致通訊接口：RS485，支持報警歷史記錄、溫度監(jiān)控、遠程狀態(tài)讀取認證：SEMI?S2、CE、NRTL版本后綴說明?標準款：潔凈工藝使用?P 款：內置氮氣吹掃，輕微粉塵工況?N 款：Ni?Resist 鎳合金腔體 + 氮氣吹掃，適配輕度腐蝕氣體

產品概述

EV?S 系列為 EBARA 荏原輕載型羅茨干式真空泵，無油水冷緊湊型機型，面向半導體、面板、LED、光伏潔凈以及輕度腐蝕輕制程工藝。整機體積小巧輕量化，標配變頻怠速休眠節(jié)能功能，無需復雜基建。可按需選擇基礎版、氮氣吹掃 P 版、鎳合金耐腐蝕 N 版，適配負載鎖腔、傳輸腔、中小型 PVD、輕度刻蝕等輕負荷真空場景。

工作原理

多組非接觸羅茨轉子逐級壓縮氣體，整機內部無油。直流變頻電機根據(jù)工藝負載動態(tài)調節(jié)轉速，工藝工作階段滿負荷運行，待機空載自動切換怠速休眠，降低功耗；水冷完成整機散熱，實時采集溫度、電流、壓力運行數(shù)據(jù)，故障預警與報警信號可對接工廠 FAB 自動化控制系統(tǒng)。P/N 版本搭載氮氣吹掃通路，抑制微量粉塵、腐蝕性介質對泵體部件侵蝕。

核心特點

整機小型輕量化，設備占地面積小，方便 Subfab 機房布置與設備端集成。
直流變頻怠速休眠功能，同抽速等級相比傳統(tǒng)干泵功耗大幅降低，潔凈工況下可不用持續(xù)通入氮氣，節(jié)約用氣成本。
多版本配置可選，標準款適配潔凈工藝；P 款氮氣吹掃應對微量粉塵；N 款鎳合金腔體，耐受鹵素類輕度腐蝕氣體。
非接觸羅茨轉子結構，無摩擦磨損，振動低、運行噪音小。
50Hz、60Hz 電網(wǎng)頻率下抽氣性能保持一致，適配*各地產線。
RS485 通訊接口，完整報警歷史存儲，支持遠程參數(shù)讀取、設備集中管理。
內置多組傳感器，具備故障預警功能，降低非計劃停機風險，整機滿足 SEMI?S2 半導體設備安全標準。

典型應用場景

半導體：Load?lock 負載鎖腔體、晶圓傳輸腔、中小型 PVD 濺射、輕度刻蝕、小型 CVD 工藝排氣；LED 行業(yè)：芯片鍍膜、刻蝕制程；顯示面板：中小型腔體預抽、潔凈鍍膜工藝；光伏行業(yè)：薄膜沉積輕制程；其它：實驗室鍍膜、分析儀器、各類潔凈、輕度腐蝕輕負荷真空工藝。

EV?S 系列完整型號清單

EV?S20、EV?S20P、EV?S20NEV?S50、EV?S50P、EV?S50NEV?S100、EV?S100P、EV?S100NEV?S200、EV?S200P、EV?S200N

配套推薦

可搭配尾氣處理裝置；真空檢測配置真空計模塊；支持對接工廠 FAB 遠程監(jiān)控系統(tǒng)

規(guī)格

類型

單元

EV-S20

EV-S20P/N

EV-S30

EV-S30P

EV-S50

EV-S50P/N

EV-S100

EV-S100P/N

EV-S200

EV-S200P/N

冷卻水

流速

升/分鐘

1.5~3.0

2.0~3.0

溫度

℃

最多 30

電源

功率容量

千伏安

3.2

3.6

4.8

6.4

6.8

泵送速度

升/分鐘

1670

3300

5000

10000

20000

極限壓力

賓夕法尼亞州

0.5

聯(lián)系

進口

NW50

NW80

NW100

出路

NW25

西北40

極限壓力下的近似功率

千瓦

0.4

0.55

0.65

0.75

流速

帕·米3/秒

17～20 (2.4)

電源相位/電壓/頻率

200V 型號

三相/200-220V，50/60Hz

400V 型號

三相/380-440V，50/60Hz

重量

公斤

100

120

170

*規(guī)格參數(shù)僅供參考，可能因型號而異。
*詳情請聯(lián)系我們。

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