Edwards/愛德華 高性能干式真空泵 iXH 系列

Edwards/愛德華 高性能干式真空泵 iXH 系列
Edwards/愛德華 高性能干式真空泵 iXH 系列

一、核心定位

• 品牌背景：英國 Edwards（愛德華），真空技術百年積淀，半導體干泵**。

• 應用場景：半導體（刻蝕 / 沉積 / ALD / 外延）、FPD、LED、光伏、化合物半導體（GaN）、高 k / 低 k 介電層制程，強腐蝕、含粉塵、大流量氫氣工況優選。

• 核心價值：無油潔凈、極限真空高、耐工況、智能低維護、低 TCO，解決傳統干泵在嚴苛制程下壽命短、易故障、能耗高的痛點。

二、主流型號與關鍵參數

• 組合機型：可配羅茨增壓泵（如 iXH500H/3000），抽速達 3000 m3/h，極限真空＜5×10?3 mbar，適配大腔體、快速抽氣場景。

三、工作原理與核心技術

• 工作原理：多級干式螺桿結構，雙螺桿同步反向旋轉，形成密閉腔室，逐級壓縮氣體并排出，全程無油接觸，實現潔凈真空。

• 核心技術亮點：

• Gas Buster™技術：很強粉塵處理能力，可處理高濃度粉塵與副產物，防止泵腔堵塞，延長壽命。

• XCEDE 防腐技術：4 倍于前代的耐腐蝕性，適配 HF、HCl、Cl?等強腐蝕氣體，適配刻蝕 / 沉積等嚴苛制程。

• 寬溫域熱管理：溫度可調范圍大，優化泵體溫度，減少冷凝與副產物沉積，提升穩定性。

• 創新密封技術：非接觸式長效密封 + 五合一吹掃系統，隔離腐蝕氣體與齒輪箱，降低泄漏風險，延長維護周期。

• 智能控制（Green Mode）：待機節能模式，能耗降低 10%，支持遠程監控、自動啟停、故障診斷，兼容 SEMI E54 標準。

四、核心優勢

1. 耐嚴苛工況：XCEDE 防腐 + Gas Buster 粉塵處理，強腐蝕、高粉塵、大流量氫氣環境穩定運行，壽命較普通干泵延長 50%。

2. 高效低能耗：較前代能耗降低 10%，Green Mode 待機節能，適配 CVD 等大流量制程，降低運營成本。

3. 高真空高抽速：極限真空達 **＜5×10?3 mbar**，抽速覆蓋 100–1210 m3/h，可組合增壓泵，滿足快速抽氣與高真空需求。

4. 長周期低維護：密封壽命長、吹掃系統防沉積，維護周期≥8000 小時，減少停機時間，降低 TCO。

5. 緊湊易集成：模塊化設計，可堆疊安裝，占地面積減少 30%；單控制器管理多泵，支持 RS-485/Modbus，適配工廠 MES 系統。

五、典型應用

• 半導體刻蝕：硅刻蝕、氧化物刻蝕、金屬刻蝕，處理含氟 / 氯腐蝕氣體與粉塵。

• 薄膜沉積：PECVD、LPCVD、ALD、SACVD、高 k / 低 k 介電層沉積，大流量氫氣與前驅體抽取。

• 化合物半導體：GaN 外延、MOCVD 制程，耐高溫、抗氨腐蝕。

• 平板顯示（FPD）：OLED、LCD 制程，大腔體快速抽氣與穩定真空控制。

• 光伏 / LED：擴散、PECVD、刻蝕制程，處理粉塵與腐蝕性氣體。