日本ATEC愛泰克防靜電晶圓面板定位牛眼軸承PVPR16BJ-SJ
采用 M16 外螺紋安裝,POM 主球搭配不銹鋼支撐珠,低發塵、抗靜電,適配半導體晶圓與面板輸送。通氣鎖止、斷氣滾動,定位精準,承載 1kg,適用于無塵車間精密工件傳送與定位。
日本ATEC愛泰克防靜電晶圓面板定位牛眼軸承PVPR16BJ-SJ
采用 M16 外螺紋安裝,POM 主球搭配不銹鋼支撐珠,低發塵、抗靜電,適配半導體晶圓與面板輸送。通氣鎖止、斷氣滾動,定位精準,承載 1kg,適用于無塵車間精密工件傳送與定位。
日本ATEC愛泰克防靜電晶圓面板定位牛眼軸承PVPR16BJ-SJ
日本 ATEC 愛泰克 PVPR16BJ-SJ 是面向高潔凈度場景設計的防靜電氣動鎖定型萬向滾珠(牛眼軸承),專為半導體、液晶面板、玻璃基板、精密電子等行業打造,滿足 ISO Class 1-5 級無塵環境使用要求。產品采用 M16 外螺紋嵌入式結構,安裝簡便,可密集布置在各類工裝臺面與傳送設備上。
核心結構采用 POM 工程樹脂主球搭配 SUS304 不銹鋼支撐珠,本體同樣為樹脂材質,整體無尖銳邊角、無積塵死角,經過嚴格脫脂清洗處理,運行過程低發塵、無碎屑脫落,不會對潔凈環境造成污染。同時具備穩定防靜電性能,表面電阻控制在 103–10?Ω,可有效避免靜電吸附粉塵或損傷晶圓、面板等精密元器件。
該產品最大特點是氣動鎖止功能:在 0.3–0.6MPa 氣壓作用下可將主球鎖死,實現工件精準定位;斷氣后恢復 360° 自由滾動狀態,保證物料順滑輸送。這種 “輸送 + 定位" 一體化設計,大幅提升自動化產線的對位精度與運行效率,重復定位精度可達 ±0.1mm。
產品額定載荷約 1kgf,整體輕量化,重量僅約 25g,不會增加設備負載。工作溫度范圍 0–80℃,可適應多數工業潔凈車間環境。內部結構耐磨低摩擦,長期運行穩定可靠,免維護周期長,有效降低產線運維成本。
廣泛應用于半導體硅片、晶圓、光罩盒輸送,LCD/OLED 玻璃基板傳送,PCB 與 FPC 精密搬運,以及醫療無菌耗材輸送等場景。憑借出色的潔凈性能、防靜電特性與氣動定位功能,成為精密制造領域的傳送部件。