真空知識之真空閥門

一、真空閥門基礎定義

真空閥門是真空系統核心控制元件，主要作用為切換管路氣流方向、調節氣體流量、接通或切斷真空管路。閥門密封依靠橡膠彈性密封圈或金屬硬密封墊片實現，是鍍膜、半導體、光電、實驗室真空設備常備零部件。

二、主流真空閥門品類及應用場景

市面真空閥門品類豐富，不同結構適配的真空區間、工藝場景差異明顯，各品類詳細介紹如下：

1. 通用真空閥（角閥、直通閥、閘閥） 適配高真空、超高真空設備腔體，用于氣流隔離、腔體排氣、真空度調節、定量充氣；其中閘閥、直通 Inline 閥、角閥是超高真空系統應用非常廣泛的基礎閥型。

2. 真空蝶閥 快速啟閉型閥門，核心結構為圓盤式蝶板，蝶板轉軸與管路氣流方向垂直，旋轉后壓緊閥座完成密封，多用于工藝腔體壓力精準調控。

3. 傳輸閥（矩形閘閥） 安裝在真空負載鎖腔、傳輸腔與工藝腔之間，作為隔離隔斷閥，廣泛配套半導體自動化產線，實現硅片、基板真空轉運。

4. 真空球閥 90° 旋轉直通式閥門，圓形球體密封結構，密封應力均勻，適配腐蝕性酸堿介質管路通斷。

5. 鐘擺閥 大口徑節流專用閥門，安裝于工藝腔體與渦輪分子泵進氣口，多用于 OLED、FPD 平板顯示、光伏 PV 薄膜產線。

6. 全金屬真空閥門 專為超高真空烘烤工況設計，無橡膠彈性體密封件，依靠金屬墊片硬密封，可承受高溫烘烤，可實現大氣壓至 10?11mbar 以下穩定密封。

7. 鋁合金角閥 進出口呈 90° 直角結構，閥體采用 A6061-T6 鋁合金材質，適配粗真空至高真空工況，多用于半導體檢測儀器、實驗室研發設備。

8. 特氟龍涂層真空閥 閥體為不銹鋼基材，表面噴涂特氟龍防腐涂層，耐各類強化學腐蝕介質，適配化工腐蝕類真空制程。

三、真空閥門通用性能特點

1. 工作壓力低于標準大氣壓，閥瓣承壓壓降不可超過 1 公斤力 / 平方厘米；

2. 介質適用溫度區間為 - 70℃~150℃，具體由產線工藝條件決定；

3. 核心硬性要求：管路高密封性、閥體與密封墊片致密無滲漏；

4. 驅動方式靈活：支持手動現場操控、遠程遙控，可選氣動、電動、電磁驅動。

四、真空閥門按壓力等級分類

依據介質真空壓力，行業分為四大標準類別：

1. 低真空閥門：壓力 760~1 毫米汞柱；

2. 中真空閥門：壓力 1×10?3 毫米汞柱；

3. 高真空閥門：壓力 1×10?? ~ 1×10??毫米汞柱；

4. 超高真空閥門：壓力≤1×10??毫米汞柱。

五、主流閥型選型補充說明

通徑 250mm 以內的真空管路，波紋管截止閥應用非常廣泛；大通徑管路優先選用閘閥；球閥、柱塞閥、蝶閥為常用輔助閥型。 旋塞閥極少用于真空系統，其潤滑油脂易揮發污染真空腔體，會破壞真空潔凈度。